光學微電子潔凈工程之定義為將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細菌等之污染物掃除，并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流散布、噪音震動及照明、靜電操控在某一需求范圍內(nèi)，而所給于特別規(guī)劃之密閉空間。

　　光學微電子凈化工程亦名無塵室或潔凈室，現(xiàn)在已是半導體、精密制作、液晶制作、光學制作、線路板制作和生物化學、醫(yī)藥、食物制作等職業(yè)不可或缺的重要設(shè)備，近幾年來，由于技術(shù)之創(chuàng)新開展，關(guān)于產(chǎn)品的高精密度化、細小型化之需求更為火急。　

  　光學微電子凈化工程一般包含：

　　1、 潔凈生產(chǎn)區(qū)

　　2、 潔凈輔佐間(包含人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)

　　3、 辦理區(qū)(包含工作、值班、辦理和休息等)

　　4、 設(shè)備區(qū)(包含凈化空調(diào)體系應用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設(shè)備用房)

　　光學微電子凈化工程凈化原理

　　氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風機送風→管道→高效凈化風口→吹入房間→帶走塵埃細菌

　　等顆粒 → 回風百葉窗→初效凈化 重復以上進程，即可到達凈化意圖。

　　光學微電子凈化工程凈化參數(shù)

　　換氣次數(shù)：100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次。壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa

　　均勻風速：10級、100級0.3-0.5m/s;溫度 冬天>16℃;夏季 <26℃;動搖±2℃。

　　溫度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免發(fā)生靜電。

　　噪聲≤65dB(A);新風彌補量是總送風量的10%-30%;照度300LX。

　　光學微電子凈化工程結(jié)構(gòu)資料

　　1. 凈化廠房墻、頂板材一般多選用50mm厚的夾芯彩鋼板制作，其特色為漂亮、剛性強。圓弧墻 角、門、窗框等一般選用專用氧化鋁型材制作。

　　2.地上可選用環(huán)氧自流坪地坪或高檔耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。

　　3.送回風管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫作用好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。

　　4.高效送風口用不銹鋼結(jié)構(gòu)，漂亮清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔。

　　光學微電子凈化工程解決計劃:

　　凈化工程的規(guī)劃進程中，應加強對光學微電子職業(yè)凈化工程規(guī)劃計劃剖析了解,依據(jù)該工程是新建工程或者是舊廠房改造工程，并結(jié)合其詳細的生產(chǎn)工藝、生產(chǎn)流程等要求確定其需求的潔凈度、溫濕度。再依據(jù)該工程的詳細情況，同時還要考慮到生產(chǎn)廠家的經(jīng)濟承受能力，歸納各種因素來確定選用何種凈化計劃，這樣才可規(guī)劃出一個能滿意甲方生產(chǎn)使用要求、工程造價合理、經(jīng)濟節(jié)能實用的計劃。

　　1、組合式空氣處理機組+冷水機組+高效送風口

　　這是一個最傳統(tǒng)的凈化空調(diào)體系的規(guī)劃計劃。組合式空氣處理機組里含有各種功用段，如混合段、初效過濾段、表冷段、二次回風段(或中心段)、加熱段、加濕段、中效過濾段、風機段等。其冷源由冷水機組提供。

　　長處：

　　A.空氣處理作用好，因空氣通過會集處理，在送風進程中被污染程度較低。送風的溫度、濕度的操控比較準確;

　　B.比較適用于有會集冷源的或是較大的廠房;

　　C.空調(diào)冷熱源可與廠房普通空調(diào)體系合用或獨立冷熱源;

　　D.修理頻率較低;

　　E.車間的噪音低。

　　缺陷：

　　A.需求有配套的冷凍機房或有放置熱泵機組的室外空間。另需求有放置組合式空氣處理機組的空調(diào)機房，如25000m3/h的組合式空氣處理機組，常用外形尺寸為6450×1850×2250mm左右。關(guān)于舊廠房改造項目來說比較困難空出一個20-30m的機房的;

　　B.造價高。

　　特色：

　　A.主張新風通過會集處理后再與回風混合，這樣能夠減少表冷段的冷處理負擔;

　　C.這類計劃一般能夠適用潔凈度較高的如百級、千級或萬級、十萬級等較低的凈化無塵廠房。

　　2、光學微電子職業(yè)凈化工程規(guī)劃計劃剖析之水冷柜機+增壓風柜+高效送風口

　　與前種計劃比較，這是相對比較簡單的空調(diào)計劃。它能夠大大地縮小機房的面積，水冷柜機能夠依據(jù)詳細的情況安置于較小機房內(nèi)或凈化車間內(nèi)，增壓風柜也能夠安置于機房內(nèi)或吊在機房內(nèi)或在夾層內(nèi)。

　　長處：

　　A.空氣處理作用較好的，處理往后的空氣在送風進程中被污染程度低。送風的溫度、濕度操控作用能夠到達較好的操控。主要在空氣處理機組(增壓風柜)里進行操控;

　　B.安置靈敏。自帶冷源;

　　C.巨細廠房、新舊廠房都適用;

　　D.修理頻率較低;

　　E.車間噪音低。

　　缺陷：

　　A.需求小面積的機房。需求有冷卻塔、冷卻水泵的擺放位置;

　　B.空調(diào)機組與空調(diào)處理機組要會集安置;

　　C.造價較低。特色：這種計劃能夠是一次回風也能夠是二次回風，詳細依據(jù)車間的巨細情況而定;這類計劃一般能夠適用于潔凈度為千級、萬級、十萬級等的凈化無塵廠房。

　　3、光學微電子職業(yè)凈化工程規(guī)劃計劃剖析之分體空調(diào)柜機++FFU送風口

　　這是最簡易的一個空調(diào)計劃。是直接將分體空調(diào)柜機安置于車間內(nèi)，并用彩鋼圍護起來，在柜機回風口處再在彩鋼板上開回風口(帶初效過濾網(wǎng));KLC風機過濾單元FFU均勻安置于吊頂天花。這個計劃適用于對室內(nèi)溫濕度精度要求不高的無塵車間。

　　長處：

　　A.不需求占用機房面積，安置很靈敏的;

　　B.能夠滿意空氣的潔凈度;

　　C.造價最低。如此類無塵車間初出資約需求40萬;

　　D.送風均勻度好。

　　缺陷：

　　A.溫濕度操控較差;

　　B.能夠滿意空氣的潔凈度;

　　C.FFU的修理頻率高。

　　4、光學微電子職業(yè)凈化工程規(guī)劃計劃剖析之無塵車間的特色

　　A、無塵車間的潔凈度:

　　LCD制屏的簡略流程為：清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線和切割→LC注入→貼偏振片→制屏終檢。

　　在本規(guī)劃里是指結(jié)尾工藝的一些無塵車間，其凈化潔凈度一般為千級或萬級或十萬級。背光屏類無塵車間主要是這類產(chǎn)品的沖壓車間、拼裝等無塵車間，其潔凈度一般為萬級或十萬級。

　　B、室內(nèi)空氣參數(shù)要求 ：

　　(1)溫濕度要求：溫度一般為24+2℃，相對濕度為55+5%。

　　(2)新風量大。由于這類車間內(nèi)，人員比較多，能夠依據(jù)以下數(shù)值應取下列的最大值：非單向流潔凈室總送風量的10-30%;補償室內(nèi)排風和堅持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量;保證室內(nèi)每人每小時的新鮮 空氣量≥40m3/h。

　　(3)送風量大。為了滿意潔凈室內(nèi)的潔凈度及熱濕平衡，需求較大的送風量，就300平方米的車間，吊頂高度為2.5米的，如果是萬級，送風量就需求300×2.5×30=22500m3/h的送風量(換氣次數(shù)，是≥25次/h);如果是十萬級，送風量就需求300×2.5×20=15000m3/h的送風量(換氣次數(shù)，是≥15次/h)。

　　光學微電子職業(yè)凈化工程規(guī)劃計劃剖析關(guān)于慣例電子廠房潔凈室空調(diào)的規(guī)劃，應依據(jù)電子廠房的生產(chǎn)工藝要求及甲方的經(jīng)濟條件來選用哪種空調(diào)規(guī)劃計劃，以滿意生產(chǎn)工藝的要求作為條件。依據(jù)以往經(jīng)歷，關(guān)于要求高的能夠選用組合式空氣處理機組會集處理的空調(diào)計劃;關(guān)于要求不高的，又要初出資低的，能夠選用柜機+FFU。總歸，詳細的計劃選擇依據(jù)詳細情況而定。