13 防靜電與接地設(shè)計
13．1 一般規(guī)定

電子工業(yè)潔凈廠房中，根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求設(shè)防靜電環(huán)境的場所主要有對靜電放電敏感的電子元器件、組件、儀器和設(shè)備的制造和操作場所。操作場所包括包裝、傳輸、測試、組裝以及與這些操作相關(guān)聯(lián)的活動；配置靜電放電敏感的電子儀器、設(shè)備和設(shè)施的應(yīng)用場所，如各類電子計算機房，各類電子儀器實驗室、監(jiān)控室等。在電子工廠中的一些電子產(chǎn)品生產(chǎn)、檢測、試驗場所有潔凈環(huán)境要求，靜電的存在將會影響潔凈技術(shù)措施的效果。因此、潔凈環(huán)境的設(shè)計亦應(yīng)設(shè)定靜電控制的預(yù)期目標(biāo)，并按本規(guī)范的規(guī)定執(zhí)行。
防靜電環(huán)境設(shè)計應(yīng)采用的主要技術(shù)措施，應(yīng)從抑制或減少靜電的產(chǎn)生和有效、安全地排除靜電的措施著手。

13．2 防靜電措施

13．2．1 本條是對防靜電環(huán)境中防靜電地面的規(guī)定，其主要依據(jù)是：
1 防靜電地面是防靜電環(huán)境控制的重點部位，防靜電地面面層類型的選擇，首先應(yīng)滿足不同的電子產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝的要求，并進行技術(shù)經(jīng)濟比較后確定。一般防靜電地面有導(dǎo)靜電型活動地板、靜電耗散型活動地板、貼面地板、樹脂涂層地面、水磨石地面、移動式地墊等。
2 隨著防靜電工程技術(shù)的發(fā)展和工程實踐經(jīng)驗，在防靜電工程領(lǐng)域，采用表面電阻值、表面電阻率或體積電阻率等作為量綱單位，國內(nèi)(如電子行業(yè))、國外(如美國材料與試驗協(xié)會、防靜電協(xié)會)近年來發(fā)布的標(biāo)準(zhǔn)都使用了上述量綱單位，本規(guī)范采納表面電阻率作為量綱單位。
本條規(guī)定的材料名稱、性能指標(biāo)主要依據(jù)《地板覆蓋層和裝配地板靜電性能的試驗方法》SJ／T 11159、《防靜電地面施工及驗收規(guī)范》SJ／T 31469，并參考國際、國內(nèi)相關(guān)規(guī)范、標(biāo)準(zhǔn)，結(jié)合我國實際情況，綜合考慮確定。

13．2．2 本條是對防靜電環(huán)境中的吊頂和墻、柱面的防靜電要求。制定的理由是：
1 在電子工業(yè)潔凈廠房防靜電環(huán)境中的頂棚和墻、柱面采用防靜電裝飾，對控制環(huán)境質(zhì)量的作用主要是：抑制塵埃的帶電吸附，改善環(huán)境的清潔度；抑制靜電噪聲的空間傳導(dǎo)及其與電噪聲的耦合，凈化工作區(qū)的電場環(huán)境。故本條規(guī)定防靜電環(huán)境中的吊頂和墻、柱面的裝飾應(yīng)按設(shè)計分級標(biāo)準(zhǔn)選擇。
為確保在任何時間任何情況下靜電電位不大于規(guī)定值，一、二級防靜電環(huán)境的墻、柱面應(yīng)設(shè)置導(dǎo)電層，有利于靜電的可靠泄導(dǎo)。
2 本條規(guī)定主要依據(jù)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《防靜電地面施工及驗收規(guī)范》SJ／T 31469、地方標(biāo)準(zhǔn)《防靜電工程技術(shù)規(guī)程》DGJ 08—83，并參考國內(nèi)、國外相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)以及近年來大量大工程實踐經(jīng)驗制定。
由于軟簾的放電機理比較特殊，在靜電泄放過程中會形成多次放電，參照國外標(biāo)準(zhǔn)，軟簾的摩擦起電電壓可適當(dāng)放寬。
三級防靜電工作區(qū)提出了低起電材料的應(yīng)用，根據(jù)有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)和文獻的一般提法，低起電材料界定為摩擦起電電壓不大于2000V，為滿足三級防靜電工作區(qū)的靜電電位要求，用于防靜電環(huán)境的材料仍不應(yīng)大于1000V。

13．2．4 未經(jīng)表面改性處理的高分子絕緣材料，是環(huán)境中產(chǎn)生靜電的主要靜電源，因此本條明確規(guī)定電子工業(yè)潔凈廠房中的防靜電環(huán)境不得使用這類材料。
由于裝修飾面的平整光滑對于抑制靜電的產(chǎn)生和積聚有積極作用，所以防靜電環(huán)境不宜設(shè)計的過于復(fù)雜。

13．2．5、13．2．6 制定這兩條的理由是：
1 由于凈化空調(diào)系統(tǒng)送、回風(fēng)口和風(fēng)管管壁是易于產(chǎn)生靜電的部位，因此規(guī)定了在防靜電環(huán)境中的送、回風(fēng)口和風(fēng)管制作應(yīng)采用導(dǎo)電材料，并應(yīng)接地的要求。
2 在防靜電環(huán)境的凈化空調(diào)系統(tǒng)、各種配管系統(tǒng)中使用部分絕緣性材質(zhì)、導(dǎo)電性橡膠軟管時，應(yīng)采取相應(yīng)的導(dǎo)電措施，以泄放可能產(chǎn)生的靜電，并采取可靠接地的措施。

13．2．7 由于在一些電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中不斷地產(chǎn)生和積聚靜電，雖然在防靜電環(huán)境中采取了上述各項防靜電設(shè)計技術(shù)措施，但仍不能達到某些電子產(chǎn)品生產(chǎn)對防靜電的嚴(yán)格要求或在某些局部仍然會形成超過規(guī)定的靜電電位。實踐表明，應(yīng)用離子化靜電消除器等裝置，消除、中和局部表面或空氣中的電荷，是行之有效的方式。離子化靜電消除器種類繁多，其作用原理、產(chǎn)品形式、消除靜電效能、環(huán)境要求均差異很大。按空氣離子化原理分，有同位素放射型、交流型、穩(wěn)定直流型、脈沖直流型等型式。還可按結(jié)構(gòu)形式分，有臺座式離子風(fēng)機、管式離子風(fēng)嘴、箱柜式離子風(fēng)機、離子風(fēng)槍和靜電離子棒。按適用場所分，有機內(nèi)層流罩式、潔凈室式、空調(diào)房間式、工作臺面式和壓縮氣體式。按組合布置分，有針、細棒、網(wǎng)格(隔柵)、發(fā)射體和離子風(fēng)等。防靜電技術(shù)措施應(yīng)根據(jù)不同場所、不同產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求，綜合使用不同形式的離子化消電手段，以達到較好的消電效能。

13．3 防靜電接地

13．3．1 導(dǎo)靜電泄放至大地是消除靜電的一種主要方法。為了保證靜電迅速、安全、有效地泄放，潔凈區(qū)域金屬物體、導(dǎo)靜電材料均應(yīng)做可靠接地。

13．3．4 在電子工業(yè)潔凈廠房中，有多種可燃、有毒的氣體、液體或粉體輸送、儲存設(shè)備、管道，這些介質(zhì)的設(shè)備、管道也是容易產(chǎn)生靜電危害的場所。所以，對這些介質(zhì)的設(shè)備、管道應(yīng)采取可靠的安全的導(dǎo)靜電泄放至大地的接地措施，以保證一旦產(chǎn)生靜電能夠迅速、有效、安全地泄放。有爆炸和火災(zāi)危險的設(shè)備、管道應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《爆炸和火災(zāi)危險環(huán)境電力裝置設(shè)計規(guī)范》GB50058的有關(guān)規(guī)定。