9 純水供應(yīng)

9．1 一般規(guī)定

9．1．1 電子產(chǎn)品生產(chǎn)用純水系統(tǒng)的選擇，應(yīng)根據(jù)原水水質(zhì)和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對水質(zhì)的要求，并結(jié)合系統(tǒng)規(guī)模、材料及設(shè)備供應(yīng)等情況，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較確定。

9．1．2 純水的輸送干管應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)；潔凈室(區(qū))內(nèi)的純水支管宜暗裝。

9．1．3 穿越潔凈室(區(qū))墻壁、樓板、頂棚的純水管道應(yīng)設(shè)套管，套管與管道之間應(yīng)采取密封措施。

9．1．4 潔凈室(區(qū))內(nèi)純水管道的保溫材料，不得產(chǎn)生污染物，外表面應(yīng)平整、光滑、易于清潔。

9．2 純水系統(tǒng)

9．2．1 純水系統(tǒng)的設(shè)備配置除應(yīng)滿足所需水量和水質(zhì)的要求外，還應(yīng)滿足運(yùn)行靈活、安全可靠、便于操作管理、運(yùn)行費(fèi)用低等要求。

9．2．2 純水的制備、儲存和輸送設(shè)備，應(yīng)符合電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的要求，并應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 純水的制備、終端處理設(shè)備的選型和制造材料的選擇，應(yīng)滿足供水水質(zhì)、終端水質(zhì)的要求；
2 純水儲罐、輸送設(shè)備的選型和制造材料的選擇，應(yīng)確保水質(zhì)污染少、密封性好，不得有滲氣現(xiàn)象；
3 純水制備、儲存、輸送設(shè)備應(yīng)有效地防止水質(zhì)降低。

9．2．3 純水系統(tǒng)應(yīng)采用循環(huán)供水方式，宜采用單管式循環(huán)供水系統(tǒng)或設(shè)有獨(dú)立回水管的雙管式循環(huán)供水系統(tǒng)，并應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 循環(huán)回流水量應(yīng)大于設(shè)計(jì)供水量的30％；
2 干管流速應(yīng)大于等于1．5m／s；
3 不循環(huán)支管的長度不應(yīng)大于管徑的6倍；
4 干管應(yīng)設(shè)置清洗口；
5 管道系統(tǒng)必須密封，不得有滲氣現(xiàn)象；
6 應(yīng)配備在線水質(zhì)檢測儀表；
7 對純水水質(zhì)要求嚴(yán)格的電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝，應(yīng)采用雙管式循環(huán)供水系統(tǒng)。

9．2．4 純水系統(tǒng)中與純水直接接觸的設(shè)備表面應(yīng)光潔、平整、化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定、耐腐蝕、易清洗、易消毒。

9．2．5 用于純水系統(tǒng)的水質(zhì)檢測設(shè)備、量具、儀表，其連接不應(yīng)使純水水質(zhì)降低，其檢測范圍和精度應(yīng)符合純水生產(chǎn)和檢驗(yàn)的要求。

9．2．6 純水精處理或終端處理裝置宜靠近用水生產(chǎn)設(shè)備設(shè)置。

9．3 管材、閥門和附件

9．3．1 純水系統(tǒng)管道材質(zhì)的選用，應(yīng)符合下列要求：
1 應(yīng)滿足純水水質(zhì)指標(biāo)的要求；
2 材料的化學(xué)穩(wěn)定性應(yīng)好；
3 管道內(nèi)壁光潔度應(yīng)好；
4 不得有滲氣現(xiàn)象。

9．3．2 純水管道的閥門和附件的選用應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 應(yīng)選擇與管道相同的材質(zhì)；
2 應(yīng)選用密封好、結(jié)構(gòu)合理、無滲氣現(xiàn)象的閥門；
3 對純水的水質(zhì)要求嚴(yán)格的產(chǎn)品生產(chǎn)工藝用純水系統(tǒng)，應(yīng)采用隔膜閥。