15 微振控制

15．1 一般規(guī)定

15．1．1 潔凈廠房的微振控制設(shè)施的設(shè)計應(yīng)分階段進行，應(yīng)包括設(shè)計、施工和投產(chǎn)等各階段的微振動測試、廠房建筑結(jié)構(gòu)微振控制設(shè)計、動力設(shè)備隔振設(shè)計和精密儀器設(shè)備隔振設(shè)計等。

15．1．2 設(shè)計有微振控制要求的潔凈廠房時，應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 總平面布置時，應(yīng)核實相鄰廠房、建筑物或構(gòu)筑物對精密設(shè)備、儀器的振動影響；
2 設(shè)有精密設(shè)備、儀器的潔凈廠房，其建筑基礎(chǔ)構(gòu)造、結(jié)構(gòu)選型、隔振縫的設(shè)置、潔凈室裝修等應(yīng)按微振控制要求設(shè)計；
3 對設(shè)有精密設(shè)備、儀器的潔凈室(區(qū))有振動影響的動力設(shè)備及其管道，應(yīng)采取主動隔振措施；
4 潔凈室(區(qū))內(nèi)精密設(shè)備、儀器，經(jīng)測試確認(rèn)受到周圍振動影響時，應(yīng)采取被動隔振措施。

15．2 容許振動值

15．2．1 微振動控制設(shè)計應(yīng)根據(jù)精密儀器、設(shè)備的特性，采取綜合隔振措施，并應(yīng)滿足容許振動值的要求。

15．2．2 精密設(shè)備、儀器的容許振動值物理量的表述，應(yīng)采用時間域或頻率域的振動加速度、振動速度和振動位移等。

15．2．3 精密儀器、設(shè)備的容許振動值，應(yīng)由制造商提供。無法確定時，可按本規(guī)范附錄C或根據(jù)其工作特性確定。

15．3 微振動控制設(shè)計

15．3．1 潔凈廠房的微振動控制設(shè)計，應(yīng)按下列階段進行微振動測試分析。
1 場地環(huán)境振動測試及分析；
2 潔凈廠房建筑結(jié)構(gòu)振動特性測試及分析；
3 精密設(shè)備、儀器安裝地點環(huán)境振動測試及分析；
4 微振動控制的最終測試及分析。

15．3．2 有微振動控制要求的潔凈室(區(qū))，其建筑結(jié)構(gòu)的微振動控制設(shè)計，應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 建筑物基礎(chǔ)宜置于動力性能良好的地基土上，且基礎(chǔ)應(yīng)有足夠剛度；
2 應(yīng)設(shè)置獨立的建筑結(jié)構(gòu)微振動控制體系，并應(yīng)與廠房主體結(jié)構(gòu)分隔；
3 主體結(jié)構(gòu)應(yīng)根據(jù)微振動控制的要求，適當(dāng)加大梁、柱、墻、基礎(chǔ)等截面尺寸。

15．3．3 有強烈振動的設(shè)備和管道，宜采取主動隔振措施，并應(yīng)符合下列要求．
1 宜采用隔振臺(座)；
2 應(yīng)選用剛度適當(dāng)?shù)母粽衿鳎?br style="margin: 0px; padding: 0px;">3 通往潔凈室(區(qū))的管道，宜采取隔振支(吊)架、柔性連接等隔振措施。

15．3．4 潔凈室內(nèi)精密設(shè)備、儀器的被動隔振措施的設(shè)計，應(yīng)符合下列要求：
1 隔振臺(座)應(yīng)具有足夠的剛度；
2 應(yīng)采用低剛度隔振設(shè)施；
3 隔振系統(tǒng)各向阻尼比不應(yīng)小于0．15；
4 隔振臺(座)應(yīng)采取傾斜校正措施；
5 隔振設(shè)施不應(yīng)影響氣流流型，
6 當(dāng)采用空氣彈簧隔振器時，其供氣系統(tǒng)應(yīng)進行凈化處理，并應(yīng)達(dá)到潔凈室空氣潔凈度等級的要求。