中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范

GB 50472-2008

條文說(shuō)明

1 總 則

本規(guī)范是電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，適用于各種類(lèi)型電子產(chǎn)品生產(chǎn)用新建、擴(kuò)建和改建的潔凈廠房設(shè)計(jì)。由于各類(lèi)電子工業(yè)潔凈廠房?jī)?nèi)所生產(chǎn)的電子產(chǎn)品及其生產(chǎn)工藝各不相同，它們對(duì)生產(chǎn)環(huán)境包括空氣環(huán)境和直接與產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程接觸的各類(lèi)介質(zhì)都有一定的要求。近年來(lái)以微電子產(chǎn)品為代表的高新技術(shù)發(fā)展迅速，微電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程對(duì)生產(chǎn)環(huán)境要求十分嚴(yán)格，對(duì)生產(chǎn)過(guò)程所需高純物質(zhì)——高純氣體、高純水、各類(lèi)化學(xué)品的純度及其雜質(zhì)含量要求更為嚴(yán)格，對(duì)微振控制、噪聲控制和防靜電控制也有嚴(yán)格的要求。因此本規(guī)范根據(jù)電子工業(yè)潔凈廠房的特點(diǎn)制定工程設(shè)計(jì)中應(yīng)該遵循的相關(guān)規(guī)定，確保工程設(shè)計(jì)做到技術(shù)先進(jìn)、經(jīng)濟(jì)適用、安全可靠、節(jié)約資源，滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的需求。