2．0．1 潔凈室 clean room
空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子。室內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進(jìn)行控制。

2．0．2 潔凈區(qū) clean zone
空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。它的建造和使用應(yīng)減少空間內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子?？臻g內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進(jìn)行控制?？梢允情_(kāi)放式或封閉式。

2．0．3 人員凈化用室 room for cleaning human body
人員在進(jìn)入潔凈室(區(qū))之前按一定程序進(jìn)行凈化的房間。

2．0．4 物料凈化用室 room for cleaning material
物料在進(jìn)入潔凈室(區(qū))之前按一定程序進(jìn)行凈化的房間。

2．0．5 粒徑 partical size
由給定的粒子尺寸測(cè)定儀響應(yīng)當(dāng)量于被測(cè)粒子等效的球體直徑。對(duì)離散粒子計(jì)數(shù)、光散射儀器采用當(dāng)量光學(xué)直徑。

2．0．6 懸浮粒子 airborne particles
用于空氣潔凈度分級(jí)的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在0．1～5μm的固體和液體粒子。

2．0．7 含塵濃度 particle concentration
單位體積空氣中懸浮粒子的顆數(shù)。

2．0．8 潔凈度 cleanliness
以單位體積空氣某粒徑粒子的數(shù)量來(lái)區(qū)分的潔凈程度。

2．0．9 空態(tài) as-built
設(shè)施已經(jīng)建成，所有動(dòng)力接通并運(yùn)行，但無(wú)生產(chǎn)設(shè)備、材料及人員。

2．0．10 靜態(tài) at-rest
設(shè)施已經(jīng)建成，生產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)安裝，并按業(yè)主及供應(yīng)商同意的狀態(tài)運(yùn)行，但無(wú)生產(chǎn)人員。

2．0．11 動(dòng)態(tài) operational
設(shè)施以規(guī)定的狀態(tài)運(yùn)行，有規(guī)定的人員在場(chǎng)，并在商定的狀況下進(jìn)行工作。

2．0．12 氣流流型 air pattern
室內(nèi)空氣的流動(dòng)形態(tài)和分布。

2．0．13 單向流 unidirectional airflow
沿單一方向呈平行流線并且橫斷面上風(fēng)速一致的氣流。包括垂直單向流和水平單向流。

2．0．14 非單向流 non-unidirectional airflow
凡不符合單向流定義的氣流。

2．0．15 混合流 mixed airflow
單向流和非單向流組合的氣流。

2．0．16 潔凈工作區(qū) clean working area
指潔凈室內(nèi)離地面高度0．8～1. 5m(除工藝特殊要求外)的區(qū)域。

2．0．17 空氣吹淋室 airshower
利用高速潔凈氣流吹落并清除進(jìn)入潔凈室人員或物料表面附著粒子的小室。

2．0．18 氣閘室 airlock
設(shè)置在潔凈室出入口，阻隔室外或相鄰房間的污染氣流和壓差控制而設(shè)置的緩沖間。

2．0．19 傳遞窗 passbox
在潔凈室隔墻上設(shè)置的傳遞物料和工器具的開(kāi)口。兩側(cè)窗扇的開(kāi)啟應(yīng)進(jìn)行聯(lián)鎖控制。

2．0．20 潔凈工作服 clean working garment
為把工作人員產(chǎn)生的粒子限制在最低程度所使用的發(fā)塵量少的潔凈服裝。

2．0．21 高效空氣過(guò)濾器 (HEPA)high efficiency particulate air filter
在額定風(fēng)量下，最易穿透粒徑法的效率在99．95％以上及氣流初阻力在220Pa以下的空氣過(guò)濾器。

2．0．22 超高效空氣過(guò)濾器 (ULPA)ultra low penetration air filter
在額定風(fēng)量下，最易穿透粒徑法的效率在99．9995％以上及氣流初阻力在250Pa以下的空氣過(guò)濾器。

2．0．23 微環(huán)境 minienvironment
將產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程與操作人員、污染物進(jìn)行嚴(yán)格分隔的隔離空間。

2．0．24 風(fēng)機(jī)過(guò)濾器機(jī)組 fan filter unit(FFU)
由HEPA或ULPA與風(fēng)機(jī)組合在一起，構(gòu)成自身可提供動(dòng)力的末端空氣凈化的裝置。

2．0．25 自?xún)魰r(shí)間 cleanliness recovery characteristic
潔凈室被污染后，凈化空調(diào)系統(tǒng)開(kāi)始運(yùn)行至恢復(fù)到穩(wěn)定的規(guī)定室內(nèi)潔凈度等級(jí)的時(shí)間。

2．0．26 技術(shù)夾層 technical mezzanine
潔凈廠房中以水平構(gòu)件分隔構(gòu)成的空間，用于安裝輔助設(shè)備和公用動(dòng)力設(shè)施以及管線等。

2．0．27 技術(shù)夾道 technical tunnel
潔凈廠房中以垂直構(gòu)件分隔構(gòu)成的廊道，用于安裝輔助設(shè)備和公用動(dòng)力設(shè)施以及管線等。

2．0．28 技術(shù)豎井 technical shaft
潔凈廠房中主要以垂直構(gòu)件分隔構(gòu)成的井式管廊，用于安裝輔助設(shè)備和公用動(dòng)力設(shè)施以及管線等。

2．0．29 專(zhuān)用消防口 fire-firing access
消防人員為滅火而進(jìn)入建筑物的專(zhuān)用入口，平時(shí)封閉，使用時(shí)由消防人員從室外打開(kāi)。

2．0．30 純水 pure water
雜質(zhì)含量很少的水，其電解質(zhì)雜質(zhì)含量(常以電阻率表征)和非電解質(zhì)雜質(zhì)(如微粒、有機(jī)物、細(xì)菌和溶解氣體等)含量均要求很少的水。

2．0．31 常用氣體 bulk gas
電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中，廣泛使用的氫氣、氧氣、氮?dú)狻鍤?、氦氣等氣體。

2．0．32 特種氣體 special gas
電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中，使用的硅烷、磷烷、乙硼烷、砷烷、四氯化硅、氯氣等氣體。這些氣體具有可燃、有毒、腐蝕或窒息等特性。

2．0．33 化學(xué)品 chemical
指電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中使用的酸、堿、有機(jī)溶劑和氧化物等。

2．0．34 防靜電環(huán)境 ESD controlled environment
具有防止靜電危害的特定環(huán)境，在此環(huán)境中不易產(chǎn)生靜電或靜電產(chǎn)生后易于泄放或消除，靜電噪聲難以傳播。

2．0．35 表面電阻 surface resistance
在材料的表面上兩電極間所加直流電壓與流過(guò)兩極間的穩(wěn)態(tài)電流之商。